Perfilómetros ópticos

Perfilómetro óptico 2D y 3D desarrollado utilizando la tecnología de interferencia de la luz blanca para medir y analizar el perfil de la superficie de las estructuras micro-nano con sistema de escaneo y algoritmos innovadores. Se puede trabajar con la cámara a color o monocromo como se requiere para mediciones 2D y microscopio.

El último diseño de sistema modular del perfilómetro óptico 2D y 3D de Chroma 7503 cuenta con configuraciones flexibles que puedan cumplir con aplicaciones de prueba diversificadas. Cuando está equipado con el engranaje eléctrico se pueden montar un máximo de 5 tipos de lentes que se accionan directamente para su uso sin necesidad de cambios manuales. Además, la plataforma móvil de ajuste eléctrico es capaz de ajustar y posicionar la muestra automáticamente. El amplio alcance de detección de eje vertical y horizontal es aplicable para varias mediciones automáticas no destructiva y rápida de textura de la superficie. El análisis se puede realizar sobre la muestra sin ningún procesamiento previo que es lo más adecuado para I + D, producción, mejora de procesos e investigación académica.

La resolución de la altura Chroma 7503 es de hasta 0,1 nm y puede alcanzar 100 mm cuando el eje vertical Z se utiliza para medir el desplazamiento de barrido. También el eje horizontal es capaz de alcanzar una resolución sub-micro de hasta 150 x 150 mm cuando se utiliza un PC para controlar la plataforma móvil. El procedimiento de calibración y el algoritmo de teoría permiten que el resultado de la calibración del sistema cumpla la norma NIST. En combinación con varios algoritmos innovadores, robustos y fiables, el 7503 tiene calidad de medición de alta precisión y gran escala.

La plataforma de escaneo automático configurado es capaz de encontrar la mejor posición de enfoque a través de la plataforma móvil de eje vertical automatizado con un algoritmo de enfoque automático rápido. Por otra parte, la plataforma de ajuste de la inclinación es capaz de nivelar la unidad bajo prueba dentro de unos pocos segundos sin operaciones complejas.
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